99.5% cao độ tinh khiết PSA Oxy Generator cho sản xuất chất bán dẫn

Máy phát oxy PSA(Máy phát oxy hấp thụ áp suất) là một thiết bị sạch quan trọng trong ngành công nghiệp sản xuất bán dẫn.Nó đạt được sự tinh khiết sâu thông qua các lớp lọc phân tử hai lớp (các lớp lọc phân tử thông thường + các lớp lọc phân tử độ tinh khiết cao) để sản xuất oxy độ tinh khiết cao với nồng độ trên 990,5%.

Nó có những lợi thế cốt lõi như độ tinh khiết ổn định, độ sạch cao, hoạt động đáng tin cậy và không phát thải chất gây ô nhiễm,có thể đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết và độ sạch oxy trong các quy trình như oxy hóa và lắng đọng màng mỏng trong quá trình sản xuất bán dẫn. Là cấu hình cấp cao nhất choPSA độ tinh khiết của nhà máy oxy, các tạp chất (nitơ, ẩm, carbon dioxide, vv) trong oxy được sản xuất bởi thiết bị này đều được kiểm soát dưới mức ppm,tránh giảm năng suất chip do độ tinh khiết oxy không đủNó là một thiết bị cung cấp oxy cốt lõi không thể thiếu cho sản xuất chất bán dẫn.

Sản xuất bán dẫn đại diện cho đỉnh cao của sản xuất chính xác, với các quy trình chip đã bước vào quy mô nano (5nm, 3nm).suy giảm hiệu suấtOxy chủ yếu được sử dụng trong các quy trình cốt lõi như oxy hóa (hình thành các lớp cách nhiệt SiO2) và lắng đọng hơi hóa học (CVD) trong sản xuất bán dẫn.Độ tinh khiết oxy trực tiếp ảnh hưởng đến sự đồng nhất của độ dày lớp cách nhiệt, dính sợi phim, và hiệu suất điện chip.

Oxy công nghiệp thông thường (93% độ tinh khiết) chứa các tạp chất như nitơ và độ ẩm có thể tạo ra các khiếm khuyết trên bề mặt chip, dẫn đến giảm 10-20% năng suất; trái ngược lại, 99.5% oxy tinh khiết cao có thể kiểm soát hàm lượng tạp chất dưới mức ppm, hiệu quả tránh sự hình thành khiếm khuyết và đảm bảo năng suất chip vẫn ổn định trên 90%.Máy phát oxy PSAcó thể loại bỏ sâu các tạp chất như nitơ, độ ẩm và carbon dioxide từ không khí.PSA độ tinh khiết của nhà máy oxyĐộ chính xác điều khiển vượt xa so với thiết bị sản xuất oxy truyền thống, đáp ứng đầy đủ các yêu cầu quy trình sản xuất bán dẫn.

Ngoài ra, sản xuất bán dẫn có yêu cầu cực kỳ cao về độ sạch oxy. Khí đầu ra phải đáp ứng phân loại phòng sạch lớp 100 (không quá 100 hạt ≥ 0.5μm mỗi feet khối không khí).Máy phát oxy PSAđược trang bị hệ thống lọc khí hiệu quả cao có thể lọc các hạt nhỏ trong oxy, tránh ô nhiễm hạt trên bề mặt chip và đảm bảo chất lượng chip.

Khi muaMáy phát oxy PSA, các doanh nghiệp bán dẫn phải tuân thủ bốn nguyên tắc cốt lõi: "sự tinh khiết đủ điều kiện, tương thích phòng sạch, ổn định và đáng tin cậy và trình độ đầy đủ của nhà cung cấp".

• Về độ tinh khiết, điều bắt buộc là chọn thiết bị có độ tinh khiết oxy ≥ 99,5% và hàm lượng tạp chất đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn,và yêu cầu các nhà cung cấp cung cấp báo cáo thử nghiệm của bên thứ ba (chẳng hạn như SGS, ITS)
• Về tính tương thích phòng sạch, cần xác nhận rằng độ sạch khí đầu ra của thiết bị là ≥Class 100 và vỏ thiết bị đáp ứng các yêu cầu lắp đặt phòng sạch.
• Về tính ổn định và đáng tin cậy, ưu tiên nên được dành cho các sản phẩm có thời gian hoạt động liên tục ≥ 8.000 giờ/năm và bảo hành cho các thành phần cốt lõi ≥ 3 năm
• Các trình độ của nhà cung cấp là rất quan trọng.Nhà máy oxy dựa trên PSAChứng chỉ sản xuất, chứng nhận hệ thống quản lý chất lượng ISO9001 và chứng nhận ngành bán dẫn có liên quan (như chứng nhận SEMI),và yêu cầu họ cung cấp các trường hợp thành công trong ngành công nghiệp bán dẫn

Dịch vụ sau bán hàng phải đáp ứng các yêu cầu cao của ngành công nghiệp bán dẫn.và cung cấp các bộ phận thay thế nhanh chóng để đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài của thiết bị.

Với lợi thế độ tinh khiết cao 99,5%,Máy phát oxy PSAđã trở thành một điểm chuẩn cho việc cung cấp oxy sạch trong sản xuất bán dẫn.và hiệu suất hoạt động ổn định có thể cung cấp hỗ trợ cung cấp oxy đáng tin cậy cho các quy trình bán dẫn, làm cho nó trở thành một thiết bị quan trọng cho các doanh nghiệp sản xuất chip để cải thiện năng suất và giảm chi phí.